ANALYSE DE SURFACE DES SOLIDES

GRIMBLOT

Ce cours présente les principales méthodes d'analyse de surface des solides, sur des
profondeurs variant d'une couche atomique à quelques nanomètres. L'ouvrage décrit les
principes de base des méthodes d'analyse spectroscopique: excitation des éléments du
matériau-cible par des électrons, des ions ou des rayons X, analyse énergétique des
électrons émis, des particules rétrodiffusées et s'il s'agit d'ions, détermination de la masse.
Les principales techniques sont abordées ; une série de problèmes corrigés, issus de cas
réels, sont proposés avec de nombreux spectres et tableaux.

Sommaire :
La spectroscopie de photoélectrons induits par rayons X (XPS-ESCA). Les
spectroscopies Auger: AES et XAES. La spectrométrie de masse d'ions secondaires:
SIMS. La spectroscopie d'ions rétrodiffusés: ISS. Applications choisies. Sélection de
problèmes.



Public : 3e cycles ; Élèves-ingénieurs.

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